微电子机械系统（Micro Electro Mechanical System），简称MEMS，是以微电子技术为基础而兴起发展的，以硅、砷化镓、蓝宝石等为衬底材料，将常规集成电路工艺和微机械加工独有的特殊工艺相 结合，全面继承了氧化、光刻、扩散、薄膜、外延等微电子技术，还发展了平面加工技术、体硅腐蚀技术、固相键合技术、LIGA技术等，应用这些技术手段制造 出层与层之间有很大差别的三维微结构，包括膜片、悬臂梁、凹槽、孔隙和锥体等，即微机械结构。这些微结构与特殊用途的薄膜、高性能的电路相结合，便可以制 造出相应的传感器、执行器、从而实现对压力、加速度、流量、磁...

    摘要：文章概述传感器研究现状与发展，探讨传感器在机电一体化系统中的应用，并分析我国传感器技术发展的若干问题及发展方向。 　  关键词：传感器技术；机电一体化；应用     在机电一体化系统中，传感器处系统之首，其作用相当于系统感受器官，能快速、精确地获取信息并能经受严酷环境考验，是机电一体化系统达到高水平的保证。如缺少这些传感器对系统状态和对信息精确而可靠的自动检测，系统的信息处理、控制决策等功能就无法谈及和实现。 　  一、传感器的研究现状与发...

    传感器技术是现代科技的前沿技术，传感器产业也是国内外公认的具有发展前途的高技术产业，它以其技术含量高、经济效益好、渗透能力强、市场前景广等特点为世人瞩目。     我国自动化方面的专家呼吁：目前复杂系统越来越复杂，自动化已经陷入低谷，其主要原因之一是传感技术的落后，一方面表现为传感器在感知信息方面的落后;另一方面也表现为传感器自身在智能化和网络化方面的技术落后。     分析仪器产业迫切需要新型传感器。分析仪器是我国科技、经济和社会持续发展的基础，无论在工业过程控制、设...

    来源：中国自动化网     传感器技术是现代科技的前沿技术，是现代信息技术的三大支柱之一，其水平高低是衡量一个国家科技发展水平的重要标志之一。传感器产业也是国内外公认的具有发展前途的高技术产业，它以其技术含量高、经济效益好、渗透能力强、市场前景广等特点为世人瞩目。     改革开放20多年来，我国的传感器技术及其产业取得了长足进步，主要表现在：一是建立了“传感技术国家重点实验室”、“微米/纳米国家重点实验室”、“国 家传感技术工程中心”等研究开发基地；二是ME...